탐침과 시료의 원자 사이에 작용하는 반데르발스 힘을 이용하여 표면
형상을 측정하는 장비로서 마이크로/나노 구조물의 형태학적 특성,
기계적 특성, 표면 원자 분석 등에 사용되며, 용액 속의 살아있는 세포
또는 분자에 외부자극을 줄 수 있는 높은 분해능의 표면 관찰 장치
1. scan range: 100 x 100 x 15μm
2. resolution: atomic lattice resolution (<0.030nm)
3. scanning rate: > 70Hz (Line)
4. scanning time: > 3sec/image
- 마이크로 소자/입자와 세포간의 상호작용을 실시간으로 확인하거나
세포 내 나노입자의 함입 기저를 확인하는 데 사용
- 반도체, 광산업, 바이오소재 등 첨단 분야에서 표면현상 관찰 등의
용도로 활용 가능
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