wafer 및 재료 검사와 분석 용도로 사용가능한 현미경으로써 주로
금속성 또는 비투과성 시료의 확인에 이용됨. 터럿, 대물렌즈, 초점,
광량 등의 자동제어
1.초점 조절
Z축 구동 거리 : 25mm, 고정밀 미세조정(최소 조정 거리 : 1㎛),
초점 고정 가능
2.조명장치 : White LED
3.자동식 대물렌즈 변환기
4.경통 기울기 : 30˚, 안폭 조절 거리 : 53-75mm
5. 자동제어 재물대 : 6인치 wafer loading 가능
- MEMS 공정 후 소자 검사
- 마이크로 F40입자의 In vitro 실험에 이용
- 미세 소자의 면밀한 관찰 등에 이용
- 금속/비금속의 전분야에 걸쳐 다양한 목적으로 활용가능함
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