- 비접촉식 백색광주사간섭계 WSI(White Light Interferometry)
기술을 이용, 높은 분해능(0.1nm)의 빠른 속도(2초)로 표면을 측정함
- 비접촉식으로 2D 및 3D 형태로 측정결과를 볼 수 있음
- vertical scan speed : 2.4μm/s~12μm/sec
- max workpiece height <100mm
- x/y axis resolution: 0.1μm
- x/y stage stroke <300mm
- z axis resolution: 0.1μm
- 제작된 미세소자의 표면 높이, 넓이, 폭, 거칠기 측정. 마이크로
테스트 플랫폼 (바이오칩) 제작시 플랫폼 내 채널의 확인에 이용
- 반도체, 광산업, 나노/마이크로 첨단 소재 등 폭넓은 분야에 널리
사용될 수 있음
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